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MOCVD加熱器

MOCVD技術是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長源材料,以熱分解反應方式在襯底上進行氣相外延,生長各種Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半導體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料的一種技術。

  • 產品概況
  • 產品型號
  • 參考文獻
    MOCVD設備是MOCVD技術的核心,其中MOCVD加熱器是加熱系統中最主要的部分。加熱器中的反射板必須具有高溫下不易變形、純度高,高溫下不會釋放氣體雜質等特點,PBN是反射板最為理想的材料,目前博宇PBN絕緣板已經在知名品牌加熱器上得到很好應用。
                               PBN絕緣板
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